Ultrashort pulse laser micro drilling of silicon
Author:
Funder
Indian Institute of Technology Madras
Publisher
Elsevier BV
Subject
General Medicine
Reference31 articles.
1. Short-wave IR ultrafast fiber laser systems: Current challenges and prospective applications;Kirsch;J Applied Physics,2020
2. Laser micro/nano machining of silicon;Rasheed;Micron,2021
3. Ultra-short pulsed laser manufacturing and surface processing of microdevices;Yu;Engineering,2018
4. Sub-surface modifications in silicon with ultra-short pulsed lasers above 2 µm;Richter;JOSA B,2020
5. Efficiency of silicon micromachining by femtosecond laser pulses in ambient air;Hwang;Journal of applied physics,2006
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