Surface modification of single-crystalline silicon carbide by laser irradiation for microtribological applications

Author:

Aono Yuko,Ogawa Koki,Hirata Atsushi

Funder

Tokyo Institute of Technology

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Engineering

Reference21 articles.

1. Silicon carbide microsystems for harsh environments;Wijesundara,2011

2. Silicon carbide as a new MEMS technology;Sarro;Sens Actuat A Phys,2000

3. Monocrystalline silicon carbide nanoelectromechanical systems;Yang;Appl Phys Lett,2001

4. Silicon carbide for MEMS and NEMS - an overview;Zorman;Proc IEEE Sens,2002

5. Millimeter-scale, micro-electro-mechanical systems gas turbine engines;Epstein;J Eng Gas Turbines Power,2004

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