Precise measurement of small forces

Author:

Zulliger H.R.

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Engineering

Reference7 articles.

1. Messaufnehmer mit Dünnfilm-Dehnungsmesstreifen;Bethe;Phillips Tech. Rdsch.,198081

2. Sensoren mit Dünnfilm-DMS aus metallischen und Halbleiter-Materialien;Bethe;Proc. Sem. “Sensoren”/Bad Nauheim,1982

3. Messtechnische Eigenschaften von Dünnfilm-Halbleiter-Dehnungsmesstreifen;Watanabe;Materialprüf,1967

Cited by 9 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Silicon Resonant Microsensors;Ceramic Engineering and Science Proceedings;2008-03-27

2. Resonant Sensors;Sensors;2008-03-20

3. A mechanical isolation of a bending resonator;Sensors and Actuators A: Physical;2006-04

4. Design considerations for an electrobalance microforce sensor;Review of Scientific Instruments;1997-02

5. Quasi-monolithic planar load cells using built-in resonant strain gauges;Journal of Micromechanics and Microengineering;1993-12-01

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