Polycrystalline silicon strain sensors

Author:

French P.J.,Evans A.G.R.

Publisher

Elsevier BV

Subject

General Engineering

Reference10 articles.

1. Piezoresistive properties of polycrystalline silicon;Seto;J. App. Phys.,1976

2. Seebeck and piezoresistance effects in amorphous-microcrystalline mixed-phase silicon films and applications to power sensors and strain gauges;Nishidon;Thin Solid Films,1983

3. Low cost pressure/force transducer with silicon thin film strain gauges;Germer;Sensors and Actuators,1983

4. A graphical representation of the piezoresistive coefficient in silicon;Kanda;IEEE Trans. Electron Devices, ED-29,1982

5. Young's modulus, shear modulus and Poisson's ratio in silicon and germanium;Wartman;J. Appl. Phys.,1965

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