Low-frequency ferromagnetic enhanced inductively coupled plasma for plasma-assisted nitriding
Author:
Publisher
IOP Publishing
Subject
General Physics and Astronomy
Link
http://stacks.iop.org/1742-6596/1105/i=1/a=012119/pdf
Reference9 articles.
1. Low-pressure, high-density plasma nitriding: mechanisms, technology and results
2. The interplay of sputtering and oxidation during plasma diffusion treatment
3. Ferromagnetic enhanced inductive plasma sources
4. Electric field in inductively coupled gas discharges
5. Low Temperature Nitriding of 304 Austenitic Stainless Steel Using RF-ICP Method: the Role of Ion Beam Flux Density
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