PZT films for micro-pumps

Author:

Brooks K.1,Damjanovic D.1,Kholkin A.1,Reaney I.1,Setter N.1,Luginbuhl P.2,Racine G.-A.2,de Rooij N. F.2,Saaman A.3

Affiliation:

1. a Laboratoire de Céramique , EPFL , Lausanne, Switzerland

2. b IMT , Uni. Neuchâtel , Neuchâtel, Switzerland

3. c Debiotech S. A. , Lausanne, Switzerland

Publisher

Informa UK Limited

Subject

Materials Chemistry,Electrical and Electronic Engineering,Condensed Matter Physics,Ceramics and Composites,Control and Systems Engineering,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference11 articles.

1. Moroney , R. M. White , R. M. and Howe , R. T. 1990. Proceedings IEEE MEMS, 182–187. New York: IEEE.

2. Flynn , A. M. Tavrow , L. S. Bart , S. F. Brooks , R. A. Ehlich , D. J. Udayakumar , K. R. and Cross , L. E. 1990. Proceedings of the IEEE Ultrasonics Symposium, Edited by: McAvoy , B. R. 1163NY: IEEE.

3. Zengerle , R. Richter , M. Brosinger , F. Richter , A and Sandmaier , H. 1993. Transducers “, Vol. 93, 106Japan: Yokohama.

4. Stemme , E. and Stemme , G. 1993. Transducers ‘, Vol. 93, 110Japan: Yokohama.

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