Hot Cathode Ionization Gauge “G-TRAN series ST2” Obtained High Stability and Long Life

Author:

NAKAJIMA Toyoaki1

Affiliation:

1. ULVAC,Inc.

Publisher

The Vacuum Society of Japan

Subject

Spectroscopy,Surfaces and Interfaces,Instrumentation,General Materials Science

Reference7 articles.

1. 1) H. Yoshida: J. Vac. Soc. Jpn., 54 (2011) 17.

2. 2) H. Akimichi: J. Vac. Soc. Jpn., 56 (2013) 24.

3. 3) Japan patent JP WO2006/121173A1.

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1. Development of Reactive Process Gas Monitor;Vacuum and Surface Science;2019-05-10

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