Trend of MEMS Devices and Role of Vacuum Technologies
Author:
Publisher
The Vacuum Society of Japan
Subject
Spectroscopy,Surfaces and Interfaces,Instrumentation,General Materials Science
Reference17 articles.
1. 2) K. Petersen: Tech. Digest 13th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems (Seoul, 2005) p. 1.
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Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献
1. Method and Characteristics of Silicon Anisotropic Wet Etching Using Low Concentration Alkaline Droplets;Journal of Smart Processing;2022-09-10
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