Nitrogen Implantation of p-Silicon at Cryogenic Temperatures

Author:

Pronko P. P.,Mitchell J. B.,Shewchun J.

Publisher

Springer Berlin Heidelberg

Reference13 articles.

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Cited by 2 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Dopants;Computational Microelectronics;2004

2. Ion Implantation;Semiconducting Devices;1976

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