MOCVD of ZrO2 films from bis(t-butyl-3-oxo-butanoato)zirconium(IV): some theoretical (thermodynamic) and experimental aspects

Author:

Dhar Sukanya,Dharmaprakash M. S.,Shivashankar S. A.

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

Mechanics of Materials,General Materials Science

Reference25 articles.

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