Electrochemically Fabricated Microelectromechanical Systems/Nanoelectromechanical Systems (MEMS/NEMS)
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Publisher
Springer New York
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http://link.springer.com/content/pdf/10.1007/978-1-4419-1424-8_13
Reference163 articles.
1. Mehragany M (1993) Microelectromechanical systems. IEEE Cuicuits Dev 8755–3996:14–22
2. Craighead HG (2000) Nanoelectromechanical systems. Science 290:1532–1535
3. Judy JW (2001) Microelectromechanical systems (MEMS): fabrication, design and application. Smart Mater Struct 10:1115–1134
4. Shacham-Diamand Y, Sverdlov Y (2000) Electrochemically deposited thin film alloys for ULSI and MEMS applications. Microelectron Eng 50:525–531
5. Peeters E (1997) Challenges in commercializing MEMS. IEEE Comput Sci Eng 4:44–48
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1. Joining of Individual Silver Nanowires via Electrical Current;Nano-Micro Letters;2014-09-13
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