Analysis of temperature and enhanced diffusion effects in sputtering of CrSi2

Author:

Miotello A.

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

General Materials Science,General Chemistry

Reference13 articles.

1. P. Sigmund: Phys. Rev.184, 383 (1969)

2. H.H. Andersen: InSymposium on Ionized Gases 1974, ed. by V. Vujnovic (Inst. of Physics, Ljubljana) p. 361

3. 47;H.H. Andersen,1981

4. 47;P. Sigmund,1981

5. H.H. Andersen: InIon Implantation and Beam Processing ed. by J.S. Williams and J.M. Poate (Academic, Sydney 1984) p. 127

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